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发明名称 SCATTEROMETRIC MEASUREMENT OF UNDERCUT MULTI-LAYER DIFFRACTING STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1497611(A4) 申请公布日期 2008.01.30
申请号 EP20030731035 申请日期 2003.04.17
申请人 ACCENT OPTICAL TECHNOLOGIES, INC. 发明人 LITTAU, MICHAEL, E.;RAYMOND, CHRISTOPHER, J.
分类号 G01N21/47;H01L21/66;G01B11/00;G01B11/06;G01N21/21;G01N21/956;G01N23/20;G03F7/20;G06F17/50 主分类号 G01N21/47
代理机构 代理人
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