发明名称 |
一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法。这种杂化材料由本底材料以及一层有机氟碳高分子膜和一层纳米氧化锌无机小分子膜组合而成,这两层膜都是利用射频磁控溅射法,首先以聚四氟乙烯为靶,以惰性气体为载气,在本底材料上沉积氟碳高分子膜;然后再以金属锌为溅射靶,以惰性气体为载气、氧气为反应气体,利用二次溅射,在氟碳高分子膜上再沉积一层纳米氧化锌小分子膜。该方法制备的杂化材料是一种既具良好拒水性又有较好抗紫外辐射性能的新型材料。本发明具有制备方法简单、速度快、无需水和任何溶剂、环保无污染,且制得的杂化材料纯度高、无团聚等优点,用于特定技术领域对本底材料进行改性。 |
申请公布号 |
CN101113512A |
申请公布日期 |
2008.01.30 |
申请号 |
CN200710015120.9 |
申请日期 |
2007.07.06 |
申请人 |
青岛大学 |
发明人 |
张浴晖;齐宏进 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01);C23C14/35(2006.01);C23C14/54(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01) |
代理机构 |
青岛高晓专利事务所 |
代理人 |
隋臻玮;于正河 |
主权项 |
1.一种氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料的制备方法,其特征在于按照如下步骤操作:第一步,将本底材料在丙酮中浸泡,然后用蒸馏水冲洗,再用酒精清洗,烘干,冷却后备用;第二步,以厚度为1-2mm的聚四氟乙烯片材为溅射靶,以惰性气体为载气,利用磁控溅射法在本底材料上沉积一层氟碳高分子膜;本底材料作为阳极,阴极为溅射靶,每次换靶后先预溅射10分钟,两电极均通入自来水进行冷却;先将反应室抽真空至压力为2×10-3Pa,然后再通入载气,调节载气进气阀至溅射室内的压力为0.0001-50Pa,调节功率控制器至100W-1500W,工作气体流量介于1-1500sccm之间,而后打开频率为13.56MHz、功率为0.1-25W/cm2的射频电源,调节起辉,沉积30秒-360分钟后取出;第三步,以厚度为0.1mm-1mm的金属锌为靶材,将溅射一层氟碳高分子膜的本底材料重新放回真空反应室,再将反应室抽真空至压力为2×10-3Pa,以惰性气体为载气,以氧气为反应气体,且氧气和载气的体积比为3∶1,利用磁控溅射法在与沉积氟碳高分子膜相同的压力和功率下,溅射30秒-90分钟,在氟碳高分子膜上再沉积一层Zn0,得到氟碳高分子/纳米氧化锌杂化材料。 |
地址 |
266071山东省青岛市市南区宁夏路308号 |