发明名称 一种防止气体泄漏的装置
摘要 一种防止气体泄漏的装置,至少包括:一气体转换腔;一基台,其内部设置有一特殊气体通道,其上部设置有一凹槽,该凹槽底部与该特殊气体通道连通;一挡板,活动设置于气体转换腔内,将气体转换腔区隔为第一腔室和第二腔室;一连杆,其上端连接于一挡板,其下端穿设于凹槽;一活塞,与连杆的下端固定连接,并活动设置于基台凹槽与特殊气体通道间;一密封垫,套设于连杆,其上端设置于基台与气体转换腔之间,其下端设置于凹槽;一保护盒,包覆在气体转换腔与基台的外部;两个第一气体输送管道,设置在保护盒上,并分别连接至气体转换腔的第一腔室和第二腔室;一第二气体输送管道,设置在保护盒上;以及一排气管,设置在保护盒上。
申请公布号 CN100365332C 申请公布日期 2008.01.30
申请号 CN200510024214.3 申请日期 2005.03.04
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 杨跃
分类号 F16K3/24(2006.01);F16K31/122(2006.01);F16K51/00(2006.01) 主分类号 F16K3/24(2006.01)
代理机构 北京市金杜律师事务所 代理人 李勇
主权项 1.一种防止气体泄漏的装置,包括:一气体转换腔;一基台,其内部设置有一特殊气体通道,以提供特殊气体通过,其上部设置有一凹槽,该凹槽底部与该特殊气体通道连通;一挡板,活动设置于气体转换腔内,将气体转换腔区隔为第一腔室和第二腔室;一连杆,其上端连接于该挡板,其下端穿设于凹槽;一活塞,与连杆的下端固定连接,并活动设置于基台凹槽与特殊气体通道间,以起到一阀门的作用;一密封垫,套设于连杆,其上端设置于基台与气体转换腔之间,其下端设置于凹槽;其特征在于,还包括:一保护盒,包覆在气体转换腔与基台的外部;两个第一气体输送管道,设置在保护盒上,并分别连接至气体转换腔的第一腔室和第二腔室;一第二气体输送管道,设置在保护盒上;以及一排气管,设置在保护盒上。
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