| 发明名称 | 固体摄像元件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案，其余的过滤器图案利用光刻形成。 | ||
| 申请公布号 | CN101116186A | 申请公布日期 | 2008.01.30 |
| 申请号 | CN200680004532.6 | 申请日期 | 2006.02.07 |
| 申请人 | 凸版印刷株式会社 | 发明人 | 绪方启介;福吉健藏;石松忠;中尾充宏;北村智史 |
| 分类号 | H01L27/14(2006.01);G02B5/20(2006.01);H04N9/07(2006.01) | 主分类号 | H01L27/14(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈英俊 |
| 主权项 | 1.一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件而配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器，其特征在于，上述多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成；该制造方法具备：利用干式蚀刻形成上述多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案的工序；利用光刻形成其余的过滤器图案的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||