发明名称 可调式膜厚监控光电信号转换装置
摘要 本实用新型是用于光学镀膜监控系统的一种可调式膜厚监控光电信号转换装置,是由光学镜箱和信号转换箱两部分构成,二者之间的结合部位通过紧固件连接,其中,光学镜箱位于膜厚光信号传输部件的光束出射端,其内设有可以轴向移动调节的聚焦透镜组件,信号转换箱内设置有光电信号转换电路板、用于支撑电路板的支座和支座压套。该装置通过调聚焦透镜的移动调节,可使膜厚光信号全部投射在传感接受面上,由此消除了膜厚信号损失和衰减。同时通过光电信号转换增益电路,可扩大对膜厚信号光谱带宽的适应范围,达到提高转换信号的精准性、稳定性及转换效率的有益效果。
申请公布号 CN201012935Y 申请公布日期 2008.01.30
申请号 CN200720089363.2 申请日期 2007.02.01
申请人 河南中光学集团有限公司 发明人 杨育兴;党亚军;赵升林;张兰;菊池和夫
分类号 C23C14/54(2006.01);G05D5/03(2006.01);G02B26/02(2006.01) 主分类号 C23C14/54(2006.01)
代理机构 郑州联科专利事务所 代理人 张晓萍
主权项 1.一种可调式膜厚监控光电信号转换装置,其特征在于:它是由光学镜箱和信号转换箱两部分构成,二者之间的结合部位通过紧固件连接,其中,光学镜箱位于膜厚光信号传输部件的光束出射端,其内设有可以轴向移动调节的聚焦透镜组件,信号转换箱内设置有由支座支撑的光电信号转换电路板,箱体上设有接线柱,支座的中心带有与光学镜箱连通的光信号通道孔。
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