| 发明名称 | 在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法与装置 | ||
| 摘要 | 一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：取一微波炉；步骤2：将样品放置在微波炉的炉体内；步骤3：在微波炉的炉体内置放一玻璃真空灯管架；步骤4：将内含稀薄汞蒸气的石英管放在玻璃真空灯管架上；步骤5：启动微波炉，对内含稀薄汞蒸气的石英管微波加热。 | ||
| 申请公布号 | CN101113079A | 申请公布日期 | 2008.01.30 |
| 申请号 | CN200610088953.3 | 申请日期 | 2006.07.27 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 曹峻松;秦大山;曹国华;曾一平;李晋闵 |
| 分类号 | C03C17/23(2006.01) | 主分类号 | C03C17/23(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1.一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：取一微波炉；步骤2：将样品放置在微波炉的炉体内；步骤3：在微波炉的炉体内置放一玻璃真空灯管架；步骤4：将内含稀薄汞蒸气的石英管放在玻璃真空灯管架上；步骤5：启动微波炉，对内含稀薄汞蒸气的石英管微波加热。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||