| 发明名称 | 真空部件的制造方法、树脂被膜形成装置及真空成膜系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种对形状复杂的内部通路可容易地形成树脂被膜的真空部件制造方法及树脂被膜形成装置。本发明涉及的树脂被膜形成装置(21)，具有：单体蒸气的供给部(23)、输送单体蒸气的真空排气管线(24)、与真空排气管线(24)的一部分上设置的真空部件(22A)的内部通路可连接的连接部(24C)、在与该连接部(24C)连接的真空部件(22A)的内部通路上使上述单体蒸气附着、形成树脂被膜的部件温度调节机构(31)。通过该构成，仅通过将真空部件(22A)的内部通路暴露于单体蒸气中，就可在该内部通路上以均匀而且高的被覆性形成树脂被膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101115860A | 申请公布日期 | 2008.01.30 |
| 申请号 | CN200680004400.3 | 申请日期 | 2006.03.23 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 畠中正信;高桥善和;石川道夫;中村文生 |
| 分类号 | C23C14/12(2006.01);C23C16/44(2006.01);C08G73/10(2006.01) | 主分类号 | C23C14/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王健 |
| 主权项 | 1.一种真空部件的制造方法，其是具有内部通路的真空部件的制造方法，其特征在于，上述内部通路与真空排气管线连接后，把单体蒸气通过上述真空排气管线供给上述内部通路，在该内部通路上形成树脂被膜。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||