微致动器、带有微致动器的磁头万向节组件及其制造方法

摘要

本发明提供了一种用在磁盘驱动器单元组件的HGA中的微致动器。该微致动器包括金属框架，该金属框架包括一基部和自该基部延伸的两个相对的臂，其中在每个臂的侧表面上分别以如下方式附装有至少两片薄膜PZT：当每个臂与附装于其上的薄膜PZT响应于施加于薄膜PZT的驱动信号而一起产生位移时，每个臂的位移由于叠加效应而得以增加。由于有至少两片薄膜PZT附装在每个臂的侧表面上，因此产生了叠加效应而实现了臂位移的增加。所述至少两片薄膜PZT可位于臂的同一侧表面，或者分别位于外侧和内侧表面上。

主权项

1.一种微致动器，包括金属框架，该金属框架包括一基部和自该基部延伸的两个相对的臂，其特征在于，在每个臂的侧表面上分别以如下方式附装有至少两片薄膜PZT：当每个臂与附装于其上的薄膜PZT响应于施加到薄膜PZT上的驱动信号而一起发生位移时，每个臂的位移由于叠加效应得以增加。