发明名称 | CMOS图像传感器及其制造工艺方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种CMOS图像传感器,其采用无侧墙结构的MOS晶体管。本发明还公开了该CMOS图像传感器的制造工艺方法,其省略侧墙形成工艺。本发明能降低光电二极管的表面缺陷,改善CMOS图像传感器的光学性能,并降低制造工艺的复杂度和制造成本。 | ||
申请公布号 | CN101114660A | 申请公布日期 | 2008.01.30 |
申请号 | CN200610029339.X | 申请日期 | 2006.07.25 |
申请人 | 格科微电子(上海)有限公司 | 发明人 | 赵立新;李文强;李杰 |
分类号 | H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01);H01L21/8238(2006.01) | 主分类号 | H01L27/146(2006.01) |
代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁纪铁 |
主权项 | 1.一种CMOS图像传感器,其特征在于,采用无侧墙结构的MOS晶体管。 | ||
地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号1号楼705室 |