生产线系统和在该系统中使用的自动仓库

摘要

一种生产线系统(1)具有：堆垛提升方式的盘心装置(10)，通过基板取送机构(16a，16b)分别与盘心装置10的多个取送位置(C1，C2)连接、相对于收纳在由盘心装置(10)保管的基板收纳后的盒体内的玻璃基板进行各种处理的多个处理线(20，…，110)。在此，处理线(20，…，90)为制造滤色器片的各种处理的生产线，其中，处理线(20，…，70)为实现含有光刻加工的处理工序的主制版线，处理线(90)为实现这些同样的处理工序的预备的制版线。另外，处理线(100)对由处理线(20，…，90)进行处理的处理结束的玻璃基板加以检查的基板检查线，处理线(110)使检测出各种缺陷的玻璃基板加以再生的基板再生线。此外，处理线(30，…，70)的输送通路(15)上，装入对在成为处理对象的多个玻璃基板的同一位置上发生的共通缺陷加以检测的共通缺陷检查机(39，…，77)。再者，由盘心装置(10)保管和输送的盒体可以是由架设于左右侧面框架间的多个钢丝绳将基板以水平状态支承的绳式盒体。

主权项

1.一种利用收纳多枚基板的盒体来制造滤色器片的生产线系统，其特征在于，具有：作为将收纳多枚基板的多个基板收纳后的盒体或空的盒体加以保管的盘心装置，该装置具有保管多个盒体的储料箱和将保管于该储料箱内的盒体在该储料箱内的多个取送位置与任意的盒体保管位置间输送的堆垛起重机；与所述盘心装置的所述各取送位置连接、相对于收纳在由所述盘心装置保管的基板收纳后的盒体内的基板进行用于制造滤色器片的各种处理的多个处理线；以及与所述盘心装置的所述各取送位置相对应设置的、将基板从定位于该各取送位置的基板收纳后的盒体中相对于与该各取送位置相对应的各处理线一枚一枚排出，或者将在该各处理线进行了处理的处理结束的基板一枚一枚地向定位于该各取送位置的空的盒体内收纳的基板取送机构；所述多个处理线包含有实现含有光刻加工的处理工序的多个主制版线，在所述多个处理线中含有的所述多个主制版线中至少一个中装有对成为处理对象的多个基板的同一位置上发生的共通缺陷加以检测的共通缺陷检查机。