| 发明名称 | 用于产生辐射的方法和装置 | ||
| 摘要 | 公开了一种产生具有增强通量稳定性和均匀性的辐射等离子体的方法。该方法包括以下步骤：通过在压力下从喷嘴挤出液体而生成初级靶(210)；将能量预脉冲导向该初级靶，从而生成气体或等离子云形式的次级靶(220)；使这样形成的次级靶膨胀预定时段(230)；以及在渡过了预定时段时，将主能量脉冲导向次级靶，从而产生辐射X射线或EUV辐射的等离子体(240)。预脉冲在至少一维上的束腰尺寸大于对应的初级靶的尺寸。 | ||
| 申请公布号 | CN100366129C | 申请公布日期 | 2008.01.30 |
| 申请号 | CN03814525.1 | 申请日期 | 2003.05.13 |
| 申请人 | 杰特克公司 | 发明人 | 马格努斯·伯格伦德;比约恩·汉森;奥斯卡·亨伯格;汉斯·赫茨;拉斯·赖米尔 |
| 分类号 | H05G2/00(2006.01) | 主分类号 | H05G2/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 黄小临;王志森 |
| 主权项 | 1.一种通过从能量束产生的等离子体发射而产生X射线或EUV辐射的方法，包括以下步骤：通过在压力下从喷嘴挤出液体而生成初级靶(302、402、502)；将第一能量脉冲(301、401、501)导向所述初级靶，从而生成次级靶(303、403、603)；使次级靶膨胀预定时段；以及在渡过了所述预定时段时，将第二能量脉冲(304、404、604)导向所述次级靶，从而产生发射X射线或EUV辐射的等离子体，所述第二能量脉冲的能量大于第一能量脉冲的能量；其中第一能量脉冲(301、401、501)在至少一维上在靶(302、402、502)处的束腰尺寸大于对应的所述初级靶的尺寸，因而，在所述至少一维上，减小了初级靶相对于能量束的位置涨落对由等离子体发射的辐射的稳定性的影响。 | ||
| 地址 | 瑞典斯托克松德 | ||