基板承载装置

摘要

本发明涉及一种基板承载装置。该基板承载装置包括：一个基板支座和多个夹持模组。该基板支座上具有多个第一通孔，该夹持模组包括一个主体部，至少一个夹持指杆，一个固持件，至少一个导向杆，至少一个第一弹性组件及一个激励件。该夹持指杆的一端设置于该主体部内，另一端穿设于上述第一通孔。该固持件固定在该基板支座上，该导向杆设置于该固持件与主体部之间，其一端与该固持件相连，另一端穿设于该主体部的导向通孔中。该导向杆可在该导向通孔中移动。第一弹性组件套设在该导向杆上，其两端分别抵靠在固持件与主体部上。该激励件可以使该主体部沿导向杆延伸方向移动。

主权项

1.一种基板承载装置，其包括一个基板支座，该基板支座上具有多个第一通孔，其特征在于：该基板承载装置还包括夹持模组，该夹持模组包括一个主体部、至少一个夹持指杆、一个固持件、至少一个导向杆、至少一个第一弹性元件及一个激励件，该夹持指杆的一端设置于该主体部内，其另一端穿设于上述第一通孔，该固持件固定在该基板支座上，该导向杆设置于该固持件与主体部之间，该导向杆的一端与该固持件相连，其另一端穿设于该主体部的导向通孔中，该导向杆可在该导向通孔中移动，第一弹性元件套设在该导向杆上，该第一弹性元件的两端分别抵靠在固持件与主体部上，该激励件用来使该主体部沿导向杆延伸方向移动。