发明名称 |
双曲面反射镜的多维全场光学校验装置 |
摘要 |
本发明提供的是一种双曲面反射镜的多维全场光学校验装置。它包括准直光源、分束镜、参考臂光路、测量光路和接收装置;准直光源发出的准直光束射入分束镜,分束镜将准直光束分成两部分,反射部分经反射镜II反射后再透过分束镜作为参考光;透射部分经汇聚透镜汇聚到被测双曲面镜的部分镜面上,汇聚光线延长线相交于被测双曲面镜的一个焦点上,经被测双曲面镜反射后,汇聚到一个标准球面反射镜上,光线的延长线汇聚于球面反射镜的球心,经球面反射镜反射后,沿原路返回,再经过被测双曲面镜和汇聚透镜和半反射镜反射,作为测试光;参考光和汇聚光汇集到接收装置。本发明的装置能够对不同尺度、高反射率的双曲面反射镜表面形貌及反射率参数进行测量。 |
申请公布号 |
CN101113890A |
申请公布日期 |
2008.01.30 |
申请号 |
CN200710072553.8 |
申请日期 |
2007.07.24 |
申请人 |
哈尔滨工程大学 |
发明人 |
孙伟民;朱齐丹;耿涛;夏桂华;张涛;戴强;张志林;王立辉;郭明磊 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01);G01B11/24(2006.01);G01M11/02(2006.01);G02B17/08(2006.01);G02B27/00(2006.01) |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种双曲面反射镜的多维全场光学校验装置,它包括准直光源、分束镜、参考光路、测量光路和接收装置;其特征是:准直光源发出的准直光束射入分束镜,分束镜将准直光束分成透射与反射两路,一路作为参考光,参考光路上设置有反射镜II组成参考臂,经反射镜II反射后再透过分束镜;另一路作为检测光,检测光路上设置有由汇聚透镜、被测双曲面镜和标准球面反射镜组成的测量臂,检测光经汇聚透镜汇聚到被测双曲面镜的部分镜面上,汇聚光线延长线相交于被测双曲面镜的一个焦点上,经被测双曲面镜反射后,汇聚到一个标准球面反射镜上,光线的延长线汇聚于球面反射镜的球心,经球面反射镜反射后,沿原路返回,再经过被测双曲面镜和汇聚透镜和半反射镜反射,作为测试光;参考光和检测光汇集到接收装置。 |
地址 |
150001黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号1号楼哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室 |