| 发明名称 | 一种用于对激光束变换的矩形孔径光栅制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于对激光束变换的矩形孔径光栅制作方法，包括步骤：1)确定矩形孔径光栅的位相分布，采用均匀采样矩形孔径编码方式；2)根据得到的光栅表面位相分布制得模板；3)将表面涂有感光层的光栅材料基片用模板曝光；4)对表面涂有感光层的光栅材料基片进行腐蚀，制得矩形孔径光栅。本发明具有效率高、设计灵活、成本低的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101114056A | 申请公布日期 | 2008.01.30 |
| 申请号 | CN200610099495.3 | 申请日期 | 2006.07.24 |
| 申请人 | 中国科学院力学研究所 | 发明人 | 虞钢;李少霞;郑彩云;王立新;宁伟健;宋宏伟;刘秀波 |
| 分类号 | G02B27/42(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G02B27/42(2006.01) |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高存秀 |
| 主权项 | 1.一种用于对激光束变换的矩形孔径光栅制作方法，包括如下步骤：1)确定矩形孔径光栅的位相分布，采用均匀采样矩形孔径编码方式；2)根据得到的光栅表面位相分布制得模板；3)将表面涂有感光层的光栅材料基片用模板曝光；4)对表面涂有感光层的光栅材料基片进行腐蚀，制得矩形孔径光栅。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区北四环西路15号 | ||