喷墨头衬底、喷墨头及制造喷墨头衬底的方法

摘要

本发明提供了一种喷墨头衬底、一种喷墨头和一种制造喷墨头衬底的方法。该喷墨头衬底包括具有油墨喷射区的衬底。层间绝缘层形成在衬底上。在所述层间绝缘层上设置多个压力生成元件以形成预定阵列，该压力生成元件产生压力以喷射油墨。加热衬底的分段加热器设置在衬底上的预定位置。分段加热器通过加热器线路彼此电连接。

主权项

1.一种喷墨头衬底，包括：具有油墨喷射区的衬底；设置在所示衬底上的层间绝缘层；多个压力生成元件，在所述油墨喷射区的层间绝缘层上形成预定阵列，以生成压力来喷射油墨；分段加热器，设置在所述衬底的预定位置以加热所述衬底；以及加热器线路，将所述分段加热器彼此电连接，其中所述分段加热器具有基本等于所述压力生成元件的面积。