发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100798160(B1) 申请公布日期 2008.01.28
申请号 KR20050117968 申请日期 2005.12.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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