Vorrichtung zur Befestigung von Blenden in Prozessräumen von Vakuumprozessanlagen,申请号DE200610008977-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zur Befestigung von Blenden in Prozessräumen von Vakuumprozessanlagen
摘要
申请公布号	DE102006008977(B4)	申请公布日期	2008.01.24
申请号	DE200610008977	申请日期	2006.02.23
申请人	VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH	发明人	MELCHER, JENS;NAGEL, MICHAEL;ERBKAMM, WOLFGANG
分类号	C23C14/04;C23C14/22	主分类号	C23C14/04
代理机构		代理人
主权项
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