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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Films und Filmbildungssystem
摘要
申请公布号 DE112006000611(T5) 申请公布日期 2008.01.24
申请号 DE200611000611T 申请日期 2006.03.13
申请人 HORIBA LTD.;HORIBA STEC CO. LTD.;THE DOSHISHA 发明人 ISHIDA, KOZO;TOMINAGA, KOJI;MATSUDA, KOICHIRO;SHIMIZU, TETSUO;SENDA, JIRO;OSHIMA, MOTOHIRO;KOMEDA, AKIKO
分类号 H01L21/31;C23C16/52 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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