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发明名称
摘要
申请公布号	JP2008502145(A)	申请公布日期	2008.01.24
申请号	JP20070515361	申请日期	2005.05.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/265;C23C14/48;H01J37/32	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
地址

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