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发明名称 Verfahren zur Behandlung von Substraten mit vorstrukturierten Zinkoxidschichten
摘要
申请公布号 DE102004017680(B4) 申请公布日期 2008.01.24
申请号 DE200410017680 申请日期 2004.04.10
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 MUELLER, JOACHIM;SCHOEPE, GUNNAR;SIEKMANN, HILDEGARD;RECH, BERND;REPMANN, TOBIAS;APPENZELLER, WOLFGANG;SEHRBROCK, BRIGITTE
分类号 H01L31/18;H01L21/00;H01L31/00 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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