METHODS AND SYSTEMS FOR DOPANT PROFILING,申请号EP20030728836-传众专利搜索

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发明名称	METHODS AND SYSTEMS FOR DOPANT PROFILING
摘要
申请公布号	EP1512169(A4)	申请公布日期	2008.01.23
申请号	EP20030728836	申请日期	2003.05.12
申请人	VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC.	发明人	DOWNEY, DANIEL, F.;AREVALO, EDWIN
分类号	H01L21/26;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/425;(IPC1-7):H01L21/265	主分类号	H01L21/26
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