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发明名称
摘要
申请公布号
JP4037597(B2)
申请公布日期
2008.01.23
申请号
JP20000242173
申请日期
2000.08.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;H01L21/76;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/762
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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