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发明名称 PLASMA GENERATION DEVICE, PLASMA CONTROL METHOD, AND SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP1575343(A4) 申请公布日期 2008.01.23
申请号 EP20030780748 申请日期 2003.12.12
申请人 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY;MIYAKE, SHOJI;EBE, AKINORI 发明人 MIYAKE, SHOJI;EBE, AKINORI;SHOJI, TATSUO;SETSUHARA, YUICHI
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306;H01L21/205;C23C14/54 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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