低温气体喷镀法

摘要

本发明涉及一种借助低温气体喷镀为工件(13)镀层的方法。在这里使用低温气体喷嘴(12)，它产生一个对准表面(16)的颗粒射束(15)。按本发明规定，借助一个电磁能源，例如激光器(24)，在形成的层(20)内加入附加的能量，在这种情况下通过低温气体喷嘴(12)加入颗粒(19)中的能量同样有助于形成镀层。通过借助电磁辐射射线(25)来进行附加激活，使低温喷镀法可以灵活使用。此外，借助激光器(24)可以无需再加工地制成有复杂结构的镀层，例如印制导线。镀层设备同样是本发明的技术主题，它除了低温气体喷嘴(12)外还有一个电磁辐射射线发生器(24)，并因而适用于实施所述的方法。

主权项

1.一种工件(13)的镀层方法，其中，镀层材料的颗粒(19)借助一个低温气体喷嘴(12)朝工件(13)要镀层的表面(16)方向加速，其特征为：该低温气体射流(15)内的颗粒被加入一能量，该能量对于导致颗粒(19)持久粘附在表面(16)上而言太小；以及，在镀层期间，通过在低温气体射流在所述表面上的撞击点内局部加入电磁辐射射线(25)，促使所述颗粒持久粘附在表面(16)上。