发明名称 | 压电器件及其制备方法 | ||
摘要 | 一种用于压电器件的结构(和方法),包括压电材料层。纳米管结构被安装使得压电材料的形状的变化引起纳米管结构中的应力的变化。 | ||
申请公布号 | CN100364128C | 申请公布日期 | 2008.01.23 |
申请号 | CN200310123037.5 | 申请日期 | 2003.12.23 |
申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | J·阿彭策勒;P·阿武雷斯;R·马特尔;J·A·米谢维奇;A·G·施罗特 |
分类号 | H01L41/08(2006.01);H01L41/22(2006.01);G01R27/08(2006.01);G01R29/22(2006.01);H01L29/78(2006.01) | 主分类号 | H01L41/08(2006.01) |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 李峥;于静 |
主权项 | 1.一种压电器件,包括:压电材料层;以及单纳米管结构,其被安装使得所述压电材料的形状的变化引起所述单纳米管结构中的应力的变化。 | ||
地址 | 美国纽约 |