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发明名称
摘要
申请公布号	JP4037431(B2)	申请公布日期	2008.01.23
申请号	JP20050308249	申请日期	2005.10.24
申请人		发明人
分类号	H01L21/312;H01L21/31	主分类号	H01L21/312
代理机构		代理人
主权项
地址

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