纳米超晶格结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法

摘要

本发明公开了一种纳米超晶格结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法，涉及新材料技术领域中一种超硬复合膜刀具及其沉积方法，具体地说，涉及工作靶的设置及靶材成分。本发明在真空室(4)设置有内靶、中靶、外靶；沉积步骤有：①沉积过渡层；②沉积纳米超晶格结构超硬膜TiAlN/TiAlYN/TiAlN/CrN；③沉积表面自润滑膜。按本发明沉积出的纳米超晶格结构超硬膜，具有较高的显微硬度和耐氧化性，大大超过了常规的刀具涂层的性能。本发明是一套完整的刀具优质涂层镀膜方法，它将起粘附作用的过渡层、主耐磨层和表面自润滑层非常完美地结合起来，使这种刀具优质涂层能适应现代制造业对金属切削刀具非常苛刻的技术要求，提高了高档刀具的使用寿命。

主权项

1.一种纳米超晶格结构的超硬复合膜刀具，包括刀具(8)，其特征在于：在刀具(8)上的复合膜依次为起粘附作用的过渡层(A)，作为主耐磨层的纳米超晶格结构超硬膜(B)，低磨擦系数的自润滑层(C)；所述的过渡层(A)，或为掺钇的氮化钛复合膜，或为掺钇的碳化钛复合膜；所述的超硬膜(B)为n层，每层依次为氮化钛铝(B1)、掺钇的氮化钛铝(B2)、氮化钛铝(B1)、氮化铬(B3)；1000≤n≤9000；所述的自润滑层(C)为一种掺铬的类金刚石膜。