发明名称 | 光学元件的制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种在基板上具备多个金属线栅的光学元件的制造方法,其特征在于,通过LSP(Liquid Self-patterning Process)制作所述金属线栅。从而本发明提供一种更廉价且批量生产性高的偏振镜等光学元件的制造方法。 | ||
申请公布号 | CN100363763C | 申请公布日期 | 2008.01.23 |
申请号 | CN200610006679.0 | 申请日期 | 2006.02.08 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 熊井启友;泽木大辅 |
分类号 | G02B5/30(2006.01) | 主分类号 | G02B5/30(2006.01) |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
主权项 | 1.一种光学元件的制造方法,是在基板上具备多个金属线栅的光学元件的制造方法,其中,通过旋涂法制作所述金属线栅,预先设置形成有凹部的抗蚀剂,该凹部用于埋入金属纳米膏,在焙烧金属纳米膏之际,在抗蚀剂凹部析出金属粒子。 | ||
地址 | 日本东京 |