过滤器全采样粒子计数器法捡漏

摘要

过滤器全采样粒子计数器法捡漏涉及洁净室(区)安装于送、排风末端的超高效过滤器、高效过滤器、亚高效过滤器等过滤器及安装边框等区域进行的捡漏(泄露)试验的方法，是在捡漏区域下风侧采样，使穿过该区域来自上风侧的气流全部被采集并改变气流方向，使气流得到充分混合。混合后的气流通过一直管，形成方向一致，其截面风速均一的气流，对该气流采样，记录等于或大于某一粒径或多个粒径尘粒浓度来判定过滤器是否产生泄漏。在此之前，用过滤的气流(对某一粒径尘粒为零计数)对采样气流经过的捡漏装置表面进行吹扫自净，消除捡漏装置表面产生的尘粒对结果的影响。过滤器全采样粒子计数器法捡漏克服了捡漏试验中存在的操作麻烦、捡漏时间长、人为因素产生漏检等不足，达到快速、高效捡漏的目的。

主权项

1.一种涉及在洁净室(区)可能产生泄漏区域进行捡漏(泄漏)试验的方法。其特征在于，在捡漏(泄漏)试验的区域下风侧，使穿过捡漏(泄漏)试验区域的气流全部被采集并记录气流粒子浓度，与根据无泄漏时粒子浓度限定的粒子浓度及其范围比较，判定捡漏(泄漏)试验区域是否产生泄漏。