| 发明名称 | 真空检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种真空检测装置，包括：一个三通阀，安装在主真空管道上；在三通阀新分出的一路真空管道上的一常开气动阀，该气动阀的开关通过另一路真空管道与控制腔体门开关的气缸连接在一起。该装置避免了真空泵的使用，减少了故障发生率，提高了真空检测的稳定性，并且提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101110363A | 申请公布日期 | 2008.01.23 |
| 申请号 | CN200610029071.X | 申请日期 | 2006.07.18 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 裴雷洪;华伟 |
| 分类号 | H01L21/324(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/324(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾继光 |
| 主权项 | 1.一种真空检测装置，其特征是，包括：一个三通阀，安装在主真空管道上；在该三通阀新分出的真空管道上的一常开气动阀，该气动阀的开关通过另一路真空管道与控制腔体门开关的气缸连接在一起。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 | ||