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发明名称 METHOD FOR FABRICATING A SUBSTRATE WITH USEFUL LAYER ON HIGH RESISTIVITY SUPPORT
摘要
申请公布号 KR100797212(B1) 申请公布日期 2008.01.23
申请号 KR20047017132 申请日期 2003.04.23
申请人 发明人
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/322;H01L21/762;H01L29/32;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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