压电谐振器及其制造方法

摘要

[目的]为了减小由频率常数中的变化导致的频率偏差，并在压电基板的频率常数具有梯度时抑制非必要振动。[解决手段]压电谐振器包括具有形成于基板(1a)的两个主表面上的振动电极(4，5)，以便使它们彼此相对并且在两个振动电极之间生成陷获振动。压电基板(1a)具有固定厚度，其频率常数在平面方向上具有梯度，并且振动电极(4，5)被形成为在薄膜厚度中具有梯度，从而薄膜厚度向着其中压电基板的频率常数增加的方向递增。通过在振动电极的薄膜厚度中提供梯度，有可能抑制带内非必要振动并减小频率偏差。

主权项

1.一种具有设置于压电基板的两个主表面上的振动电极的压电谐振器，所述压电谐振器生成陷获于所述两个振动电极之间的振动，其中所述压电基板具有固定厚度，并且其频率常数在一表面方向上具有梯度，以及其中设置于所述压电基板的所述主表面的至少之一上的所述振动电极被形成为具有梯度厚度，从而所述厚度随着所述压电基板的所述频率常数的增加而递增。