| 发明名称 | 蚀刻机台电极结构及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种蚀刻机台电极结构及其制作方法，其中该蚀刻机台电极结构包含有电极基板具有多个气孔，以及多个陶瓷通气环分别安装于气孔之中。电极基板之上，还可形成表面处理层、陶瓷层以及金属钨层，以保护此电极基板。本发明的蚀刻机台电极结构，可以利用陶瓷通气环，有效地改善蚀刻等离子体破坏下电极气孔的情况，以使电极及显示器面板报废的情况有效地被降低。 | ||
| 申请公布号 | CN101111121A | 申请公布日期 | 2008.01.23 |
| 申请号 | CN200710140022.8 | 申请日期 | 2007.08.07 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 游庭权;江泓庆;洪国展 |
| 分类号 | H05H1/34(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/311(2006.01);H01L21/3213(2006.01);H01J37/04(2006.01);G02F1/1333(2006.01) | 主分类号 | H05H1/34(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈晨 |
| 主权项 | 1.一种蚀刻机台电极结构，至少包含：电极基板，具有多个气孔；以及多个陶瓷通气环，安装于所述气孔之中。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||