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发明名称 Substrate holder with magnetic housing for vacuum coating apparatuses
摘要 <p>Workpiece support (1) comprises a support body (2) having radially protruding magnetic holding bodies with a holding surface for workpieces to be coated.</p>
申请公布号 EP1881086(A1) 申请公布日期 2008.01.23
申请号 EP20070009352 申请日期 2007.05.09
申请人 IWIS MOTORSYSTEME GMBH & CO. KG 发明人 JOERGENSEN, GERALD, DR.;PINTOIU, STEFAN;FINK, THOMAS, DR.;KOHN, MARTIN;VETTER, JOERG DR;HOFFMANN, KLAUS;KRANZ, EGINHARD
分类号 C23C14/50;C23C16/458 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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