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发明名称
摘要
申请公布号
JP4035659(B2)
申请公布日期
2008.01.23
申请号
JP20030052866
申请日期
2003.02.28
申请人
发明人
分类号
C23C24/04;G02F1/13;B05B7/02;B05B15/04;H01L21/31
主分类号
C23C24/04
代理机构
代理人
主权项
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