| 发明名称 | 用于产生结晶方向受控的多晶硅膜的系统和方法 | ||
| 摘要 | 根据本发明的一个方面，提供一种用于提供具有受控的微结构和结晶纹理的多晶膜的方法。该方法提供具有特定结晶方向的伸长的晶粒或单晶岛。具体地，对衬底上的膜进行加工的方法包括：提供具有主要在一个方向上的结晶方向的晶粒的纹理结构膜；然后使用用于提供在上述结晶方向上取向的所述晶粒的位置受控生长的顺序横向固化来产生微结构。 | ||
| 申请公布号 | CN101111925A | 申请公布日期 | 2008.01.23 |
| 申请号 | CN200480044730.6 | 申请日期 | 2004.11.18 |
| 申请人 | 纽约市哥伦比亚大学理事会 | 发明人 | 詹姆斯·S·艾姆;保罗·C·范·德·维尔特 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01);B23K26/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种对衬底上的膜进行加工的方法，该方法包括以下步骤：提供具有主要在一个方向上的结晶方向的晶粒的纹理结构膜；和使用用于提供在上述结晶方向上取向的所述晶粒的位置受控生长的顺序横向固化结晶化来产生微结构。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||