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发明名称
METHOD FOR DEPOSITING CRYSTALLINE LAYERS ON CRYSTALLINE SUBSTRATES, AND GAS-ADMISSION ELEMENT
摘要
申请公布号
KR100797227(B1)
申请公布日期
2008.01.23
申请号
KR20037003725
申请日期
2003.03.13
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;C23C16/30;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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