大尺度氧化锌二维周期半球壳点阵的制备方法

摘要

本发明公开了一种大尺度氧化锌二维周期半球壳点阵的制备方法，它包括以下步骤：制备蛋白石结构模板；采用垂直沉积方法或者提拉法在衬底材料上生长组装材料，获得多层或者单层的胶体晶体，得到蛋白石模板；采用RF高真空磁控溅射装置，将制得的蛋白石模板固定在样品托上，靶材为氧化锌；调节样品托架位置使模板与氧化锌靶的距离符合要求；选择合适的生长条件，得到大尺度氧化锌的不同厚度的二维周期半球壳点阵。本发明制备方法简单，成本低，效率高，制备的球壳结构质量高，重复性好，在光栅、光催化和光致发光领域有重要的应用前景。

主权项

1.一种大尺度氧化锌二维周期半球壳点阵的制备方法，其特征在于它包括以下步骤：1)制备蛋白石结构模板；采用垂直沉积方法或者提拉法在衬底材料上生长组装材料，获得多层或者单层的胶体晶体，得到蛋白石模板；2)采用RF高真空磁控溅射装置，将制得的蛋白石模板固定在样品托上，靶材为氧化锌；调节样品托架位置使模板与氧化锌靶的距离符合要求；3)生长条件为：磁控设备功率在30～120W之间，沉积气压为0.1-10Pa，Ar气流量范围为5sccm～30sccm，O2流量范围为2sccm～10sccm，生长时间为5min～90min，得到大尺度氧化锌的不同厚度的二维周期半球壳点阵。