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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE WITH ANTI-REFLECTIVE COATING
摘要
申请公布号 EP1222690(B1) 申请公布日期 2008.01.23
申请号 EP20000967129 申请日期 2000.09.29
申请人 SPANSION LLC 发明人 HSAIO, TOMMY, C.;RAMSBEY, MARK, T.;SUN, YU
分类号 H01L21/8247;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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