| 发明名称 |
Method and apparatus for controlling ion implantation during vacuum fluctuation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
USRE40008(E1) |
申请公布日期 |
2008.01.22 |
| 申请号 |
US20030602795 |
申请日期 |
2003.06.24 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
WALTHER STEVEN R. |
| 分类号 |
H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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