发明名称 Coating solution for forming silica film
摘要
申请公布号 KR100795715(B1) 申请公布日期 2008.01.21
申请号 KR20040089150 申请日期 2004.11.04
申请人 发明人
分类号 C09D183/04;B05C11/08;C08H1/00;C09D5/25;C09D7/12;H01L21/316;(IPC1-7):C09D183/04 主分类号 C09D183/04
代理机构 代理人
主权项
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