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发明名称 Organometallic compounds and their use as precursors for forming films and powders of metal or metal derivatives
摘要
申请公布号 KR100795324(B1) 申请公布日期 2008.01.21
申请号 KR20027017924 申请日期 2001.06.29
申请人 发明人
分类号 C07F15/06;C23C16/18;C23C16/42;H01L21/336;(IPC1-7):C07F15/06 主分类号 C07F15/06
代理机构 代理人
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