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发明名称 SUBSTRATE HOLDING STRUCTURE AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100796051(B1) 申请公布日期 2008.01.21
申请号 KR20067003232 申请日期 2006.02.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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