发明名称 Способ измерени  толщины селективно осажденных провод щих слоев с помощью профилометра
摘要
申请公布号 RU1824014(C) 申请公布日期 2008.01.20
申请号 SU19904836153 申请日期 1990.06.08
申请人 Научно-производственное объединение "Интеграл" 发明人 Чигирь Г.Г.;Турцевич А.С.;Сарычев О.Э.;Домбровский В.Т.
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址