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发明名称
Способ измерени толщины селективно осажденных провод щих слоев с помощью профилометра
摘要
申请公布号
RU1824014(C)
申请公布日期
2008.01.20
申请号
SU19904836153
申请日期
1990.06.08
申请人
Научно-производственное объединение "Интеграл"
发明人
Чигирь Г.Г.;Турцевич А.С.;Сарычев О.Э.;Домбровский В.Т.
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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