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发明名称 Способ обработки диэлектрических пленок борофосфоросиликатного стекла
摘要
申请公布号 RU1549411(C) 申请公布日期 2008.01.20
申请号 SU19884457796 申请日期 1988.07.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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