发明名称 Способ изготовлени  микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла
摘要
申请公布号 RU1697563(C) 申请公布日期 2008.01.20
申请号 SU19904815649 申请日期 1990.04.17
申请人 Научно-производственное объединение "Интеграл" 发明人 Родин Г.Ф.;Базыленко М.В.;Ба нов А.С.;Турцевич А.С.
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址