发明名称 Структура дл  контрол  степени оплавлени  планаризующего диэлектрика
摘要
申请公布号 RU1667567(C) 申请公布日期 2008.01.20
申请号 SU19884497413 申请日期 1988.10.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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