Способ планаризации кремниевых структур,申请号SU19884407058-传众专利搜索

发明名称	Способ планаризации кремниевых структур
摘要
申请公布号	RU1515964(C)	申请公布日期	2008.01.20
申请号	SU19884407058	申请日期	1988.04.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/324	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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