发明名称 Способ формировани  межэлементных соединений интегральных схем
摘要
申请公布号 RU1760920(C) 申请公布日期 2008.01.20
申请号 SU19904872805 申请日期 1990.10.08
申请人 发明人 Турцевич А.С.;Довнар Н.А.;Сасновский В.А.;Лесникова В.П.;Сарычев О.Э.
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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