摘要 |
Dispositif pour le dépôt d'un revêtement sur une face interne d'un récipient (10), du type dans lequel le dépôt est réalisé à l'aide d'un plasma à basse pression qui est créé à l'intérieur du récipient (10) par excitation d'un gaz précurseur grâce à des ondes électromagnétiques de type micro-ondes. Il est prévu un tube (13) d'injection plongeant dans le récipient (10) d'une longueur comprise entre le quart et la moitié de la hauteur totale du récipient (10) considérée entre le buvant (18) et le fond (17) du récipient (10), ladite longueur du tube (13) d'injection constituant une antenne (16) longitudinale propre à capter une onde électromagnétique UHF générée par ledit générateur (3) et propager le signal HT d'amorçage, un court-circuit (19) UHF sous la forme d'une plaque (21, 23, 25) étant prévu sur le tube (13) d'injection de manière telle que la face côté cavité de ladite plaque (21, 23, 25) définit un point d'amplitude nulle de l'onde électromagnétique qui se propage le long dudit tube (13) d'injection, la longueur entre ledit court-circuit (19) et l'extrémité libre (13a) dudit tube (13) d'injection correspondant à un nombre impair de quarts de longueurs d'onde, afin d'obtenir une amplitude maximale, c'est-à-dire un ventre, au niveau de l'extrémité libre (13a) du tube (13) d'injection.
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