发明名称 DISPOSITIF POUR LE DEPOT D'UN REVETEMENT SUR UNE FACE INTERNE D'UN RECIPIENT
摘要 Dispositif pour le dépôt d'un revêtement sur une face interne d'un récipient (10), du type dans lequel le dépôt est réalisé à l'aide d'un plasma à basse pression qui est créé à l'intérieur du récipient (10) par excitation d'un gaz précurseur grâce à des ondes électromagnétiques de type micro-ondes. Il est prévu un tube (13) d'injection plongeant dans le récipient (10) d'une longueur comprise entre le quart et la moitié de la hauteur totale du récipient (10) considérée entre le buvant (18) et le fond (17) du récipient (10), ladite longueur du tube (13) d'injection constituant une antenne (16) longitudinale propre à capter une onde électromagnétique UHF générée par ledit générateur (3) et propager le signal HT d'amorçage, un court-circuit (19) UHF sous la forme d'une plaque (21, 23, 25) étant prévu sur le tube (13) d'injection de manière telle que la face côté cavité de ladite plaque (21, 23, 25) définit un point d'amplitude nulle de l'onde électromagnétique qui se propage le long dudit tube (13) d'injection, la longueur entre ledit court-circuit (19) et l'extrémité libre (13a) dudit tube (13) d'injection correspondant à un nombre impair de quarts de longueurs d'onde, afin d'obtenir une amplitude maximale, c'est-à-dire un ventre, au niveau de l'extrémité libre (13a) du tube (13) d'injection.
申请公布号 FR2903622(A1) 申请公布日期 2008.01.18
申请号 FR20060006480 申请日期 2006.07.17
申请人 SIDEL PARTICIPATIONS SOCIETE PAR ACTIONS SIMPLIFIEE 发明人 RIUS JEAN MICHEL;CHOMEL NICOLAS;DUCLOS YVES ALBAN
分类号 B05C7/02;B05D7/22;C23C16/511 主分类号 B05C7/02
代理机构 代理人
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